美國派克parker派克高壓不銹鋼隔膜閥產(chǎn)品介紹：

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性,高循環(huán)壽命,及低的粒子生成,從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用.適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用,包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)

作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）。 

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動或氣動操作。這兩個選項(xiàng)都是內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)，這使顆粒產(chǎn)生和捕獲更小化，從而減少了過程污染。閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片的應(yīng)力，提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。該閥還具有壓縮構(gòu)件，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作。

945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造，以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門本體是由Veriflo的的內(nèi)部電解拋光316L不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成。膜片是一種高強(qiáng)度鈷基合金。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項(xiàng)中選擇，這允許945系列用于廣泛的危險(xiǎn)和惰性工藝流體。這些材料，結(jié)合閥門嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，在工作壓力高達(dá)3500 psig時(shí)，具有很高的耐腐蝕性和優(yōu)良的穩(wěn)定性。氣動選項(xiàng)可以配置為提供具有限位開關(guān)的開閉位置指示。

945個系列不銹鋼隔膜閥門都是在100級潔凈室制造的。內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質(zhì)譜儀氦氣泄漏測試，以實(shí)現(xiàn)在要求UHP超高純應(yīng)用環(huán)境的使用性能和穩(wěn)定性。 

市場應(yīng)用： 
• 半導(dǎo)體生產(chǎn) 
• 分析實(shí)驗(yàn)室 
• 藥物分析，生產(chǎn) 
• 生物危害 
• 航空航天 
• 工業(yè)生產(chǎn)

特點(diǎn)/優(yōu)勢： 
• 在管材上加工，這允許改進(jìn)尺寸控制。 
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度 
• 高循環(huán)壽命（包括腐蝕性應(yīng)用工況） 
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲更小 
• 全功能化設(shè)計(jì)從真空到300psig可用
• 內(nèi)部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC 
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開常關(guān)氣動AOP執(zhí)行壓力（大值） 

典型應(yīng)用： 
• 腐蝕性和特殊性氣體 
• 半導(dǎo)體設(shè)備 
• 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管
• 氣體控制柜 
• 閥門分配箱系統(tǒng)（VMB）

Vespel® 是杜邦性能彈性體L.L.C的注冊商標(biāo)。 
VeriClean™ 是派克漢尼汾公司的商標(biāo)。 
PEEK™ 聚醚醚酮是維克特斯PLC的商標(biāo)。

美國派克parker派克高壓不銹鋼隔膜閥性能特點(diǎn)：

閥體材料 VeriClean? 316L不銹鋼
壓縮構(gòu)件材料 316L 不銹鋼 (標(biāo)準(zhǔn)配置) 或哈氏合金 
隔膜材料 Elgiloy® 或等效材質(zhì)
閥座材料 PCTFE (std), PEEK? or Vespel®
帽材料 17-4 Stainless Steel
螺母材料 316L Stainless Steel
殼體材料 陽極氧化鋁
可承受壓力 5,250 psig (362 barg) (AOPHP, I, L, M, S)188 psig (13 barg) (G)
爆破壓力 10,500 psig (724 barg) (AOPHP, I, L, M, S)375 psig (26 barg) (G)
流速 Cv 0.25 (AOP, G, S, I)Cv 0.18 (桿式手柄)
內(nèi)部泄漏率 ≤ 1 X 10-9 scc/sec He
外部泄漏率 ≤ 2 X 10-10 scc/sec He
表面處理 5 micro inch Ra
體積 1.26 cm3
重量 0.9 lb
0.42 kg
大入口額定壓力 3500 psig / 241 barg (AOPHP, I, L, M, S) 125 psig / 8.6 barg (G)
小入口額定壓力 真空度
啟動壓力 75 psig (5 barg) 通常壓力值
入氣口連接尺寸 1/8-27 NPT
zui高運(yùn)行溫度 66 °C
150 °F
低運(yùn)行溫度 -40 °C
-40 °F

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